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洁净度等级：通常采用ISO洁净度等级标准，可根据实际需要分为ISO 5到ISO 9级以上。在实际应用中，行业内习惯将100级、1000级、10000级的洁净室称为超净实验室。 空气质量标准：要求室内空气中氧气、二氧化碳、氮气等气体的含量必须维持在人体可以接受的范围内。 温度和湿度标准：一般要求室内温度在18℃到25℃之间，相对湿度在45%~55%之间。 压力差标准：超净室在使用时一般要求产生微小的负压，防止室外空气流入。产生的负压一般为10Pa~20Pa。
超净室，也被称为无尘室或清净室，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。
